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蔡司sigma300扫描电镜优势及配置参数

分类:公司新闻 发布时间:2021-10-25 2448次浏览

  扫描电镜广泛用于材料科学(金属材料、非金属材料、纳米材料)、冶金、生物学、医...

  山西扫描电镜广泛用于材料科学(金属材料、非金属材料、纳米材料)、冶金、生物学、医学、半导体材料与器件、地质勘探、病虫害的防治、灾害(火灾、失效分析)鉴定、刑事侦察、宝石鉴定、工业生产中的产品质量鉴定及生产工艺控制等。在材料科学、金属材料、陶瓷材料半导体材料、化学材料等领域,进行材料的微观形貌、组织、成分分析。各种材料的形貌组织观察,材料断口分析和失效分析,材料实时微区成分分析,元素定量、定性成分分析,快速的多元素面扫描和线扫描分布测量,晶体/晶粒的相鉴定,晶粒尺寸、形状分析,晶体、晶粒取向测量。

山西山西蔡司山西扫描电镜

  一.产品介绍

  1.产品简介

  山西蔡司Sigma300电子扫描显微镜是一款利用成熟的Gemini电子光学元件,将的分析性能与场发射扫描技术相结合的仪器。具有多种探测器可选,用于颗粒、表面或者纳米结构成像。

  高分辨热场发射扫描电镜,配备能谱分析,主要用于观察、分析和记录材料的微观形貌;以及可以通过配备EDS能谱仪进行材料元素的成分分析;并通过光电附件可以实现光电联用操作,实现微米级的联合定位查找,配置ups(延时30分钟)。

  2.产品特点及优势

  ①电子束噪声较小<1%

  电子束噪声越小,拍摄图片信噪比越高,图片质量越好

  ②束流稳定度优于0.2%/h

  蔡司电镜具有全球*佳的束流稳定度,能为用户提供*的成分分析结果,特别是对能谱仪大面积扫描以及波谱仪的分析工作非常重要

  ③同级别*高分辨率(纳米级),三维立体效果好,扫描电镜图像景深大(附真实拍摄效果)

  GEMINI镜筒--ZEISS场发射电镜由于其独特的镜筒设计(GEMINI镜筒),具有无与伦比的成像能力,无交叉光路设计,无Boersch(柏旭)效应

  ④综合分析能力强

  可安装多种附件(如能谱仪),分别检测不同的信号,可以分析成分,含量以及分布

  3.主要参数

  ★①分辨本领(非减速模式)

  二次电子像分辨率(蔡司软件算法标准):1.0 nm (15 kV) 1.6 nm (1kV)

  ★②电子源加速电压

  0.02kV ~ 30 kV(无需减速模式实现),步进10V,连续可调

  ③探针电流

  4 pA~20 nA,束流稳定性≤0.2%/h

  ★④放大倍数

  范围:10~1,000,000×

  放大倍数调整:粗、细调模式连续可调

  还具有预设定,自动补偿和校准等校正放大倍数的功能

  ★⑤电子光学系统

  5.1电子发射源:肖特基热场发射非浸没式电子源

  ★5.2电磁/静电式透镜汇聚系统,有效地提高了分辨率(特别是低电压下的分辨率),可在小于 1mm 的工作距离条件下高分辨观察磁性材料,图像无变形

  5.3聚焦:工作距离:0mm~50mm

  控制:具有与灵敏度与放大倍数相关的粗调和细调

  还具有自动聚焦控制,聚焦补偿,动态聚焦,旋转补偿,倾斜补偿等多种功能

  5.4消像散器:八极电磁式系统

  5.5光阑:数量:不少于7个

  调整:电磁选择和软件调整

  5.6扫描

  扫描速率:配置16级扫描速度,从11帧/秒~42分/帧(50 ns/像素~1.64 ms/像素)扫描方式:全帧、选区、定点、线扫描、扫描旋转、倾斜补偿

  5.7电子束位移:不小于15µm

  ★⑥样品室

  ★6.1样品室尺寸:365mm(直径)x 275mm(高)

  6.2样品置换时间(抽真空时间):不大于5分钟

  6.3附件接口:具备十个附件接口,可同时接X射线能谱、背散射电子探测器等

  ★6.4样品台:配置五轴优中心马达驱动样品台,抽屉式拉门,双操纵杆控制盒,移动*大范围同时满足以下指标:X≥120mm,Y≥120mm,Z≥40mm,双向倾斜,倾斜范围≥70°,旋转≥360°(连续旋转)样品台移动精度:≤2μm

  ★6.5可放置的*大样品尺寸:直径不小于240mm,高度不小于140mm

  ★6.6样品台水平移动*大允许承载样品重量:不大于5kg

  ★⑦探测器

  ★7.1探测器类型

  镜筒内(In-lens)环形二次电子探测器

  样品室二次电子探测器

  背散射电子探测器

  CCD摄像机

  7.2控制

  自动对比度/亮度

  手动对比度/亮度

  ⑧信号选择

  二次电子信号、背散射电子信号等,任何二个通道信号都可进行混合,以获取更佳的图像效果

  ★⑨图像显示

  ★9.1图像扫描储存分辨率大于等于32k(横向)×24k(纵向)像素

  9.2显示分辨率:1024 x768像素

  9.3降噪处理:像素平均、连续平均、帧和行叠加

  9.4具有数据区、状态显示、图像注释和测量功能可在Windows支持的外部设备上存储及打印图像

  ⑩电镜专用电脑操作键盘

  具有一体化设计的旋钮式多功能控制面板并集成电脑键盘,可调整电子束聚焦、放大倍数、消像散、电子束对中、扫描旋转、电子束位移等,方便操作

  ⑪显示器

  24"液晶显示器

  ★⑫真空系统全自动控制

  样品室极限真空度:优于2.0×10-4Pa

  ★⑬能谱35°出射角,工作距离小于等于8.5mm

  ⑭光、电镜联用

  未来可以通过此附件进行光电镜设备链接,可以实现记忆全部特征点,在电镜和光镜不同分析设备中进行全自动快速定位,准确再现同一样区域,在*短的时间得到*准确的结果

  ⑮其他附件

  ups稳压电源(延迟30分钟)

  电制冷牛津40mm2能谱仪

  ★为重点参考项

  二.安全使用规范

  1.设备使用

  ★①设备的电源一定要确保持续和稳定

  仪器使用结束后按“STANDBY”黄色按钮,禁止按红色“OFF”按钮。每次使用结束后只需关闭电脑显示器电源

  ②当设备出现短路,起火等重大紧急故障时,切断设备电源和ups电源

  ③操作移动样品台时,一定要在TV模式下进行,确保其不会撞到探头

  ④观测过程中,不要误触左侧操作杆,以免样品高度和倾斜度发生变化,损害镜头和探测器

  ⑤开关仓门时必须轻推轻拉,避免撞击,震动损害探测器

  ⑥样品一定要固定在样品台上,样品高度应基本一致,样品表面平整,样品大小,重量不得超过规格

  ★⑦不允许放入液体,有机,生物,不耐热,熔融蒸发,松动粉末或碎屑等有挥发物样品

  ⑧样品台要固定在样品室基座上,无晃动

  ⑨样品观测结束一律将高压关掉“EHT OFF”,否则影响灯丝寿命

  ⑩回收样品时,取出样品后必须抽真空,否则会增加抽真空的时间和难度

  ⑪使用结束后关闭氮气瓶,重新设定的参数复原

  ★⑫数据刻录一定要用实验室提供的光盘专门在此机器上刻录,禁止使用在其他机器上刻录过的光盘,禁止使用U盘和移动硬盘

  2.样品制备

  ★①不导电样品要先喷金处理

  ②样品在高真空中能保持稳定

  ★③样品不含水分或其他易挥发物,否则应先烘干去除

  ④表面受到污染的样品应适当清洗,烘干;某些样品应适当侵蚀再清洗,烘干

  ⑤样品高度应基本一致,样品表面平整,样品大小,重量不得超过规格

  块状样品

  导电块状样品,用导电胶将样品粘结在样品台上即可

  不导电块状样品,预先喷金处理

  粉末样品

  事先粘结在样品台上(导电胶法),用吸耳球将未粘住的粉末吹去,不导电样品粘牢后需喷金再观察


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